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CVD设备的scrubber的功能原理及其安装位置

2019-08-10

  CVD设备的scrubber的功能原理及其安装位置

  CVD设备scrubber的功能

  CVD设备scrubber基本上是专门为CVD设备尾气处理设计的装置。CVD尾气通常含有大量颗粒和难以处理的未反应、爆炸性、易燃性或毒性气体废气。scrubber是一种专门为减少后端处理的麻烦和安全性而设计的装置。可使用局部scrubber专用CVD设备单台或多台,

  scrubber设备废气处理方式(处理废气原理)

  scrubber设备处理废气主要通过燃烧型、加热型、等离子型,水洗等流程,根据情况不同选用的处理方式也不同。

  scrubber根据不同的工艺产生不同的尾气;选择不同的处理方法!

  1、scrubber该设备包括电加热型、气体型、吸附型和等离子体型。吸附型需要更换吸附桶,使用起来相对昂贵,但维护起来最方便。

  2、通常,可以加热水洗型,并且可以使用水洗加热再水洗型。SiH4在燃烧后与SIO2反应。NH3与水反应生成晶体。NF3、WF3、SIF4、C2F6的离子键在燃烧后会打开,与水反应生成氟化氢。

  scrubber设备的安装位置

  scrubber设备通常安装在设备真空泵和废气排放总管之间。有毒有害废气由真空泵抽至scrubber设备进行处理,然后排放出去。