特种气体的类型及其储存和使用

　　特种气体在实验和工业生产中比较常见，那么特种气体常见的种类有哪些，特种气体储存在哪里，特种气体使用过程是怎么的?

　　特种气体种类

　　特种气体主要有 SiH4、PH3、B2H6、A8H3、CL、HCL、CF4、NH3POCL3、SIH2CL2、 SIHCL3、NH3、BCL3、SIF4、CLF3、CO、C2F6、N2O、F2、HF、HBR、SF6等。其中大多数是腐蚀性、有毒和可燃气体。

　　特种气体储存和使用过程

　　1.对于腐蚀性、有毒和可燃气体，钢瓶通常被设计成放置在特殊的气体柜中(特气柜)。

　　2.然后，特种气体通过管道供应到现场附近的阀门箱(VMB)。

　　3.然后进入制程机的POU使用点。

　　4.在进入机台腔体之前，有独立的气体控制面板(GB，Gas Box)将连接到过程控制模块，以控制进气的流量控制和进气混合比例。

　　5.通常，这种气体控制面板不属于工厂管理系统的设计范畴，而是属于加工机械设备的一部分。普通惰性气体由开放式气体架和阀门歧管板提供。