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高纯气体管道系统的阀门与管线使用注意事项

2019-09-09

  高纯气体管道系统的阀门与管线使用注意事项

  高纯气体输送管路系统的质量好坏,将会直接影响到高纯气体的纯度、洁净度、干燥度。因此,对于高纯气体输送系统的设计、选材、加工制造、洁净处理及安装使用过程中的各环节严格控制都有十分重要的意义。

  1、材料表面处理

  未经处理的材料表面会粘附有氧化皮,油污、灰尘、金属碎屑等杂质。如果将不经处理或处理得不彻底的材料用于高纯气体管路系统,气流的冲刷、温度及压力等因素的变化,对材料表面出气会造成影响,会不可避免地造成气体质量下降和洁净管道污染,甚至引起部件损坏与报废。众所同知.金属材料的表面与气体分子存在着吸附与解吸现象,当气体的压力、温度等条件一定时,吸附与解吸只与材料实际表面大小及处理情况(抛光、清洗等)有关。因此,对高纯气体输送装置的表面进行处理主要有两个目的,即清除材料表面的有害杂质和获得高质量的表面光洁度。清洗工作的一般顺序为机城清洗、酸洗、去垢清洗和去油脱脂。国外多采用在密闭的塑料容器中加入三氯乙烯,用超声波清洗的方法对管阀件成品进行最终清洗,以保证电子级高纯气体管阀件的特殊洁净要求。

  2、材料的选择

  高纯气体输送管路采用不锈钢材料较为理想,不锈钢对杂质及水份的活性较其它材料弱,耐腐蚀及机械工艺性、综合经济性都较好。对于抽真空的系统来说,不锈钢的出气率也较低,仅为铜材的十分之一,为橡胶树脂的千分之一。要特别注意的是,由于所有气体对有机聚合物都有较高的渗透率,因此,在高纯气体的管路中绝对不允许使用非金属管线、密封垫片,以及非金属隔膜的减压阀、膜片阀等。否则,系统内外气体的相互渗透将会降低气体的质量。在实际应用中,材料的选择必须考虑使用介质的性质及使用条件(温度、压力、环境)。并且,不锈钢材料也不适用于任何浓度的盐酸。管材必须选用无缝管材。管子的内外表面质量、外径公差及圆度要符合设计要求。表面擦伤及任何一种即使不太明显的内外表面缺陷都是应力源,都会引起腐蚀的不均匀性,从而降低了在交变载荷和活性介质作用条件下管道的耐腐蚀——疲劳破坏能力。在旋工和运输中,不能把管子在地面及硬的物体上拖拉,以免划伤管子表面。管子外径及壁厚的选择除了考虑系统的压力、流量外,还要注意采用卡套连接的管子壁厚要合适。管壁太簿,卡环将会压坏管子;管壁太厚,卡环就不能使管子恰当变形,同样起不到密封作用。

  3、必须注意不要使管子在受力状态下

  这种结构无论采用什么连接方式,都很难保证管子两端的密封面同时部完全接触,而且温度变化时,将会使密封表面移动改变。

  4、弯管必须冷加工

  并且要使用台适的机械,不准重复弯管。弯管处有压扁、弯折、起皱现象的管子不能使用。

  5、管子锯开或切开

  要保证管子切口与管壁垂直,最好使用专用工具清除管子切口内外的毛刺。特别注意不要让碎屑进入管内,并要用洁净的空气或氨气吹除。因为旋工实践表明,管道内的金属碎屑,多是此时残留下来的,对小13径管( 3ram 以下)不可用锯锯断,可用三角或尖锉绕管外径统一.圈沟槽,然后断开,避免毛刺堵塞内孔。

  6、在安装阀门时要注意阀体上的流向标志安装应使得当工作系统有压力时,总是把压力端接到阀头下面的空腔,而不是接到阀头上面的填料或膜片处。当阀门处于关闭状态时,这种连接方式可保证工作系统发生外瓣的机会最少。阀门要安装在显眼和容易操作的位置,不要让操作者的手通过很冷或根热的物体去操作阀门。阀门不能以手轮垂直向下的位置倒置安装,以防系统中可能的杂质积聚在阀腔中,使得损坏阀门。