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产品名称:
双瓶全自动特气柜
产品型号:
HSPGC150206
产品特点:
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18026918747
sales@szgp.com.cn
深圳市南山区松白路百旺信工业园 盖斯帕克科技大厦
产品描述:

双瓶特气柜(Gas Cabinet)

名称:双瓶特气柜

规格:双工艺气瓶,全自动

型号:HSPGC150206 

■ 特气柜尺寸:W850宽×D500深×H1800高 

■ 外吹扫:PN2,1/4"MVCR接口 

■ 抽真空:GN2,1/4"MVCR接口 

■ 气动隔膜阀:CDA驱动,1/4"卡套接口 

■ VENT排空管:1/2MVCR接口 

■ 工艺气体出口:2个,1/4"MVCR接口 

■ 盘面规格:1/4"盘面

■ 标准配备:自动切换,防爆防腐柜体,防爆自锁门,防爆玻璃观察窗,泄漏报警,远程切断,欠压报警,主材SS316L

■ 柜体换气量:OD100mm排气口,SiH4-1200次/小时,其余300次/小时 

■ 控制柜尺寸:W850宽×D230深×H320高 

■ 控制柜电源:220VAC,50HZ,200W,漏电保护

■ 操作界面:7"彩色触摸屏

■ 选配:工艺气瓶重量监控器,工艺气体超压报警,盘面加热及温控装置,报警信号手机短信与电话通知 

适用范围:应用在 MOCVD、PECVD、刻蚀机等配套设备上,体现于芯片半导体、光伏太阳能电池、生物医药工程、微电子新材料等行业。