欢迎走进盖斯帕克气体技术!
中文  |  English
产品名称:
阀门分配箱
产品型号:
HSPVMB130602
产品特点:
...
400-900-9093
sales@szgp.com.cn
深圳宝安松白路 创维数字大厦12楼
产品描述:

名称:阀门分配箱(Valves Manifold Box)

规格:一进多出

型号:HSPVMB130602 

■ 特气柜尺寸:W550宽×D500深×H600高 

■ VENT排空管:1/2MVCR接口 

■ 工艺气体:1进N出(N=2~9) 

■ 盘面规格:1/4"盘面

■ 标准配备:防爆防腐柜体,防爆自锁门,防爆玻璃观察窗,泄漏报警,主材SS316L

■ 箱体换气量:4"排气口,SiH4-1200次/小时,其余300次/小时 

■ 选配:外吹扫,抽真空,全自动控制,工艺气体超压报警,远程切断,盘面加热及温控装置,泄漏报警,报警信号手机短信与电话通知 

■ 适用范围:应用在 MOCVD、PECVD、刻蚀机等配套设备上,适用于高校实验室、材料分析实验室、芯片半导体、光伏太阳能电池、生物医药工程、微电子新材料等行业。

vmb阀门分配箱