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简析特气管路设计方案

2018-05-04

一. SiH4气体管道技术要求 (自燃、易燃类气体)

SiH4管道采用双套管连接方式,内管使用SS316L EP(电子抛光)不锈钢管,外管采用SS316LBA不锈钢管,三通采用成品双套三通,弯头为套管自动焊接,内外管道连接采用自动轨道氩弧焊;设备、阀门无法兰、卡套或螺纹连接, 终端隔膜阀采用VCR接头;

不锈钢管应采用氩弧焊,为防止管道内壁产生氧化膜及尘埃粒子侵入,应通入经0.01μm~0.03μm过滤器过滤的洁净氩气保护;管道连接暂停施工时,应充高纯Ar保护,管头应用塑料管帽封堵; 

管道系统试压规定及要求 

1) 强度实验:实验压力0.6Mpa,实验介质为高纯氮气,30min内压力不降为合格; 

2) 严密性实验:实验压力0.5Mpa,实验介质为高纯氮气,实验时间24H,压力不降为合格; 

3) 氦检测试:试验介质为高纯氦气,泄露率1*10-9 atm.cc/sec 

二. NH3气体管道技术要求 (毒腐类气体)

NH3管道采用SS316L EP(电子抛光)不锈钢管,三通采用成品三通,大于1/2”弯头采用成品弯头,小于1/2”弯头采用弯管器施工,管道连接采用自动轨道氩弧焊;设备、阀门无法兰、卡套或螺纹连接;管道全程恒温伴热; 终端隔膜阀采用VCR接头; 

不锈钢管应采用氩弧焊,为防止管道内壁产生氧化膜及尘埃粒子侵入,应通入经0.01μm~0.03μm过滤器过滤的洁净氩气作保护;管道连接暂停施工时,应充Ar保护,管头应用塑料管帽封堵; 

3.管道系统试压规定及要求 

1) 强度实验:实验压力0.6Mpa,实验介质为高纯氮气,30min内压力不降为合格; 

2) 严密性实验:实验压力0.5Mpa,实验介质为高纯氮气,实验时间24H,压力不降为合格; 

3) 氦检测试:试验介质为高纯氦气,泄露率1*10-9 atm.cc/sec