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项目描述

  半导体气路系统

  气路系统主要用于处理高纯度气体或有毒气体和腐蚀性气体的控制设备,在各类实验室,新能源,半导体新材料等领域应用广泛。

  半导体气路系统工程是将钢瓶集中在安全方便的地方,然后通过气体管路将各种所需气体引入每个房间,以供仪器使用。

  半导体气路系统组成

  半导体气路系统由气源部分(特气柜GC)、配管部分(一般用双套管)、二次配部分(气体分配柜VMB)、监督控制部分(气体管理系统GMS)几部分。

  半导体气路系统气瓶位置

  一般来说,气瓶室的位置应至少离建筑物6米,半地下设计,轻质天花板,或在建筑物走廊的尽头。

  半导体气路系统供气管道要求

  1.不锈钢管外明内净是首选,其次是铜管和塑料管。避免室外部件使用塑料管。

  2.室内部件应尽可能使用不锈钢管。聚四氟乙烯管或聚乙烯管可用于特殊需要。

  3.为了消除不必要的隐患,减少管道可能的泄漏点,建议使用超长不锈钢软管,这种管道容易弯曲和改变方向。有时,为了便于施工和设计,可以在管道中设置一些双通和三通接头。

  半导体气路系统安装要求

  1、每隔1.5米左右,气体管道需要一个支架。此外,根据气体管道的弯曲半径,设置合适的支架位置。必须做到所有弯曲地方都有支架。气体管道的所有支架均应镀锌防腐。

  2.压缩空气有净化装置,用于过滤管道上的杂质和水分。净化装置需要并联一路,并通过单独的阀门分开,以便于过滤装置的维护。

  3.通向工作台的气体管道应安装单独的控制阀。工作台应设置均匀排放各种气体的控制阀。建议在氦气管道前安装一个气体净化装置。

  4、每个实验室应有单独的控制阀、减压阀和压力表。

  5.易燃气体,如乙炔,需要与其他气体分开引入。氢气管道与其它可燃气体管道平行敷设时,其间距不得小于0.5M,交叉敷设时间隔不得小于0.25米,分层敷设时氢气管道应位于上方。

  6.高纯气体管道的连接采用无缝焊接。接头配件只能在连接到阀门或调节装置时使用。

  7.气体管道不得与电缆和导电线敷设在同一框架上。

  8.所有气体管道由高质量、完全退火和无缝不锈钢管(BA级)组成。铜管仅在输气管道末端使用,对气体纯度要求不太严格(如通风橱)。