浅谈特种气体设备的布置方式

　　浅谈特种气体设备的布置方式

　　特种设备简介

　　随着半导体产业的蓬勃发展，特气设备越来越多的应用于IC芯片生产、镀层、实验室科研等项目中。很多用户在进行特气设备的规划时候，受限于气房空间、位置、需求等多方面要求而不能合理规划布局，遇到了很多问题，为日后的产品使用增加了风险和扩充难度。本文就绝大多数用户遇到的难题，结合规范做以较为标准化的布置建议。

　　特气关键词：

　　特气设备;布置;多设备规划。

　　特气设备主要包括

　　1、GC 特气气瓶柜

　　2、GR 大宗or普通气瓶架

　　3、Local Scrubber 本地式废气处理柜(电加热+水洗复合型 可定制单功能)

　　4、VMB、VMP等各类气体分配设备

　　盖斯帕克气体研究院从多年的特气项目施工和管理经验中，结合GB-50646-2011总结出以下特气设备的布置要素供用户参考：

　　特种气体设备的布置方式

　　1、不相容GR应布置在不同房间里，当由于条件所限布置在同一房间时，GR之间的距离应大于6M。

　　2、同时具有可燃性和毒性的气体设备应该放置在可燃性气体间。

　　3、GR、GC、Scrubber等设备宜靠墙布置，具有相同性质的设备应该布置在一起。

　　4、特种气体房间内的中间通道宽度不得小于2M。

　　5、GC与墙体之间的距离宜大于0.1M，GC之间距离宜大于0.1M。

　　6、各类设备布置应该预留维修和运转空间。

　　7、长管拖车、ISO标准集装瓶组等大型设备宜放置在室外空旷平地。