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平板显示

盖斯帕克长期与平板显示器厂家合作,专门开发设计安装的高纯的EP级特气柜(GC)、气体分配柜(VMB)广泛用于淀积、光刻、刻蚀、清洗、检测、溅射淀积、清洗、光刻胶涂覆、曝光、显影、湿法刻蚀和去除光胶生产工艺的供气及化学品(如IPA异丙醇)服务,为LCD玻璃研磨机、光刻机、磁控溅射机、光刻机提供一站式配气服务。同时还针对各家工厂的实际特点,量身定制地开发了危险气体监控管理系统(CMS),为厂家的安全生产保驾护航,还相应开发了上述生产设备的尾气处理系统,保证了工厂废气的排放达标