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高纯气体气瓶架(GR)

  高纯气体气瓶架(GR)

  GR(Gas Rack)是为了满足微电子半导体生产、科研要求而设计的气体输送中转系统。GR一般由架子、阀门盘面、管件、控制器等集中在一起组成。

  GR多用于普通气体或惰性气体的供应,是气源部分。

  盖斯帕克高纯气瓶架GR包括:

  1、根据客户情况的特殊设计,以下安全装备可能将集成于GR

  ①GR有带按键操作的控制柜体,放置于架体上部

  ②可以泄露侦测。

  ③与系统抽风排空系统连接。

  ④自吹扫系统。

  ⑤压力侦测。

  2、安装环境:

  ①一般在惰性气体气瓶架,方便人员操作,悬挂于墙面。

  ②控制柜柜门开关自如,不得扭曲变形,关闭不严。

  ③必须由专业的安装人员进行安装。

  3、系统构造:GR是由气瓶架和供气面板组成

  ①柜体的组成:

  不锈钢烤漆耐腐蚀架体

  ②Gas Manifold 气体面板(根据实际需求可能有增减):

RBGL CV3F1-R
HPDVSPGRF1-L
HPCVSPGLF2-L
PGIRVPGVG
CV2DPGLEFS

  盖斯帕克的设计目标是要开发一条可以符合客户性能,纯度,易用度,易维护度以及系统集成度需求的最优级产品线。初看GR就可以发现许多已经实现了的设计目标。GR设计简洁,每样东西都能很方便的找到和操作。许多部件都组织在一起,以方便维护。无需开门,就可以看见和操作面板。盖斯帕克所实现的,就是一个易于理解、易于使用、并且易于维护。