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科研/大学高纯气体系统

  什么是高纯气体

  纯度超过99.999%(5N)的气体统称为高纯气体。

  高纯气体系统工程

  高纯气体系统是指高纯气体的储存、输送与分配过程的设备、管道和部件的总称。高纯气体系统工程是用于实现特气系统安全使用的工程。

  高纯气体系统组成

  高纯系统由储存、输送、分配、控制四类设备组成。其中“存储”指气源部分(气瓶架GR),“输送”指配管部分,“分配”指二次配部分(气体分配盘VMP),“控制”指监督控制部分(气体管理系统GMS)。

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  高纯气体系统特点

  高纯气体系统中的每台设备均配有自己的控制系统及操作界面,可独立运转,可配温度、压力、烟雾、泄漏监控报警,并可扩展地震监控报警;也可多台设备用PLC或TGO连起来组成大系统,在监控中心统一进行管理监控,报警系统还可以与安监系统、消防系统对接。

  适合场合

  既适合芯片半导体、微电子企业、光伏太阳能、生物制药、新材料等行业的非危险气体,同样适合高等院校、科研院所、检验检疫单位。