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半导体/集成电路/照明

盖斯帕克长期与集成电路厂家合作,专门开发设计安装的高纯的EP级特气柜、气体分配柜广泛用于湿蚀刻(wet etching)干蚀刻(dry etching)、常压化学气相淀积(APCVD)、低压化学气相淀积(LPCVD)、等离子体化学气相淀积(PECVD)、溅射(PF)、光刻等半导体设备的供气服务,同时还算征对各家工厂的实际特点,量身定制地开发了危险气体监控管理系统(GDS),为厂家的安全生产保驾护行。还相应开发了上述生产设备的尾气处理系统,保证了工厂废气的排放达标