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新材料 电子特气系统

  工信部网站于2018年9月29日发布了关于《重点新材料首批次应用示范指导目录(2018版)》的公告。相较于2017版高纯氯气、三氯氢硅和锗烷三种电子特气,本次指导目录(2018版)达15种之多,也是本次发布数量最多的一个品类。

  电子特气的重要性

  有人把电子特气比喻成电子工业的粮食,也有人把它比喻成集成电路的脑细胞,这都说明了电子特气对于电子工业的重要性。

  新材料电子特气系统是什么

  电子特气系统工程分气源部分(特气柜GC)、配管部分(一般用双套管)、二次配部分(气体分配柜VMB)、自动切换(自动切换气瓶)、监督控制部分(气体管理系统GMS)几部分

新材料电子特气柜

  新材料电子特气系统特点

特气柜.jpg

  单台电子特气系统设备均配有PLC控制、彩色触摸屏操作,带有温度、压力、烟雾、泄漏监控报警,并可扩展地震监控报警;多台设备用PLC或TGO连起来,监控报警系统可以与安监系统、消防系统对接。

  深圳盖斯帕克长期致力于电子特气系统工程的服务,公司自有经验丰富的、专业的安装工程服务团队与专业的设计团队,成功开发设计有自主专利的特气柜GC、气体分配柜VMB、气体管理系统GMS,已成功安装于诸多高等院校科研室与半导体企业,且目前运行良好。