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特种气体管道工程有什么特点

2018-11-29

  特种气体管道工程

  定义:

  本词条特指高纯、超高纯易燃易爆、毒腐性工艺气体的管道输送工程。

  特点:

  1. 高压

  2. 危险性高:毒腐、易燃易爆、自燃等

  3. 部分毒腐气体呈液态

  实际案例

  某高校微电子研究院其ICP、PECVD等进口设备需要用到氢气、甲烷、硅烷、氨气、三氯化硼等易燃易爆、自然、有毒有腐蚀性的气体。

  气源设置在一楼特气房,管道经管井垂直输送至三楼、四楼实验室设备处。盖斯帕克项目组在此项目施工时充分考虑到现场环境和气体特性,特殊气体在气房放置在特气柜内,其有24小时不间断排风、泄露侦测、压力报警、火焰探测等功能,毒腐性液相气体使用伴热带缠绕盘面,并使用双套管输送,内套管保持负压,并有负压监测。

气体分配柜

  管道经过管井到达室内后,特气全部进入气体分配箱VMB进行再分配,VMB可以将单一气体压力、流量调节至设备精准需求,最后进入设备使用。