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一、电子特气系统工程

  电子特气系统工程:燃爆毒腐类的气体统称为电子特气。

  电子特气系统工程是用于保证电子特气的安全使用的系统,


  电子特气系统组成



特气柜GCVMB



  1、分气源部分(特气柜GC)

  2、配管部分(一般用双套管)、

  3、二次配部分(气体分配柜VMB)

  4、监督控制部分(气体管理系统GMS)几部分。

  盖斯帕克长期致力于开发研究自主专利的特气柜GC、气体分配柜VMB、气体管理系统GMS,自有经验丰富的、专业的安装工程服务团队。


   适合场合


      半导体行业、微电子企业、光伏太阳能、溅射真空镀、沉积刻蚀、钝化清洗等。