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半导体/芯片 电子特气系统

  半导体芯片电子特气系统是半导体芯片行业安全生产不可缺少的一部分,这个行业对气体纯度要求较高,选用供气系统配置相比其它行业要更加的高端。

  什么是电子特气

  易燃易爆的气体、有毒的气体、有腐蚀性的气体、纯度特别高(超过99.999%)的气体统称为电子特气。电子特气系统工程是用于保证电子特气的安全使用的系统。

  电子特气系统组成

  电子特气系统工程分气源部分(特气柜GC)配管部分(一般用双套管)二次配部分(气体分配柜VMB)监督控制部分(气体管理系统GMS)几部分。

特气柜气体分配箱 气瓶架

  电子特气系统特点

  单台电子特气系统设备均配有PLC控制、彩色触摸屏操作,带有温度、压力、烟雾、泄漏监控报警,并可扩展地震监控报警;多台设备用PLC或TGO连起来,监控报警系统可以与安监系统、消防系统对接。完善、安全、专业是我们的特点。

  适合场合:半导体行业、微电子企业、光伏太阳能、溅射真空镀、沉积刻蚀、钝化清洗等。

  深圳盖斯帕克长期致力于电子特气系统工程的服务,公司自有经验丰富的、专业的安装工程服务团队与专业的设计团队,成功开发设计有自主专利的特气柜GC、气体分配柜VMB、气体管理系统GMS,已成功安装于诸多高等院校科研室与半导体企业,且目前运行良好。